多線切割機的原理

作者:admin   時間:2019-07-05

眾所周知,多線切割機它是一種通過金屬絲的高速往復運動,把磨料帶入半導體加工區域進行研磨,將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片薄片的一種新型切割加工方法。數控多線切割機已逐漸取代了傳統的內圓切割,成為硅片切割加工的主要方式。
  

A多線切割的原理
  

a:砂的作用是切割
  

b:液的作用是懸浮
  

c:鋼線的作用是承載
     

故切割原理是融合在切割液中的碳化硅在高速運行的鋼線帶動下完成切割的作用。
  

B料漿的作用及其質量控制的重要性:
  

a:料漿的作用是切割,它是切割的主體,并且在切割的過程中還起到了一定的冷卻、散熱、潤滑的作用。
  

b:新料漿只能由砂和液組成,不能有其他任何雜物。在使用后的料漿里還有玻璃碎粉、鋼屑、硅粉、膠條等。更換砂漿主要是   

控制這些在料漿里比例小于7-8%,只有這樣才能保證料漿的切割能力,如果砂漿的配置不正確,或者含有大量的雜質,將會導致跳線、斷線等, 由此產出的硅片會出現線痕、色差、厚薄不均甚至報廢。


C:機器的運行方式和切割過程中料漿的運行
     

NTC多線切割機采取的是下壓式進給。出于晶棒的外形關系,料漿的流量要隨著晶棒的形狀的改變而改變,這樣才能保證硅片的表面質量。在機器上是采用圖表的方式對砂漿流量進行設定和表示的。


D:切割前的檢查項目及機器內的衛生:


a:鋼線的繞線狀況(壓線、表面不平整等及張力是否正常)。


b:接觸輪和各個導輪的磨損狀況及穩定性。


c: 主輥上是否有跳線,雜物;鋼線的通路是否正確。


d:主輥上是否有碎片,膠條等雜物都必須處理干凈。


e:各個導輪及接觸輪是否轉動正常,擺輪臂上是否有沉積砂漿,擺動是否自如。


f:參數,由于換線筒等操作需要更改的參數必須在切割前作更改。


g:噴嘴必須清理,必須觀察出料漿流出是否均勻,是否有段簾。


h:料漿必須在啟動前過濾干凈,料漿中不能有雜物。


I:晶棒是否與線網對其,避免因晶棒斜面引起爬坡現象。


j:檢查晶棒是否鎖緊。
跳線產生的原因及處理方式
1:主輥上的導線槽損壞(處理方法:在線網上下貼好膠帶包好走線處理)。


2:主輥上有雜物(處理方法:將主輥擦拭干凈,如不能擦拭干凈需要用壓縮空氣將主輥上底上的雜質吹掉,必要時需要將張力動切后將線網剪除后進行清理)。


3:鋼線在通過導輪是未在槽內,導致鋼線磨損,從而導致高線在主輥上扭曲。
(處理方法同1)


4:切割過程中產生的碎片導致(處理方法同2)跳線的的主要形式有。


1:一個主輥有一個主輥有。


2:兩個主輥上都有,就是并槽、跳槽。


3:交叉線,兩根鋼線換槽導致剛線交叉。

玉田縣昌通電子有限公司主要從事多線切割機設備、機械零部件加工、石英晶體頻率片的研發、設計與生產,已形成一套在使用中研發,又在使用中改造,三大產品互為支撐的成熟的經營模式,真正做到從客戶需求出發,以為客戶創造最大價值為目標,既降低了產品的研發成本,又提高了產品的性價比。

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